GLATOM: Grundlagenuntersuchungen zur Analyse und Modellierung technischer Oberflaechen mit kombinativer Lasermesstechnik. Teilvorhaben: Grundlagenuntersuchungen zu den Aufloesungsgrenzen der laseroptischen Strukturmesstechnik Abschlussbericht

The topic of this research project was the examination to what extent the resolution of interferometric metrology can be enhanced, when the wavelength of light is reduced. For this both theoretical and experimental examinations have been carried out. As test objects binary gratings with different parameters have been chosen. The theoretical examinations were focused on the application of several diffraction theories to the specific problems of the interferometric measurement of microstructures. To carry out the experimental examinations, an interferometric setup was constructed. With this setup an object can be measured with several different wavelengths without changing the setup. Wavelengths from the near IR (850 nm) to the deep UV (157 nm) can be employed. (orig.)SIGLEAvailable from TIB Hannover: F99B745+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Dienstleistungszentrum Mikrosystemtechnik fuer optische Sensorik, Mikrooptik und optoelektronische ICs Schlussbericht

Available from TIB Hannover: F96B1562+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany); Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG), Bonn (Germany)DEGerman

SYMAS: Grundlagen des Formvergleichs mit synthetischen Masken und mathematischen Methoden. Teilvorhaben: Grundlagen der hochgenauen Formpruefung technischer Werkstuecke mittels computergenerierter Hologramme Abschlussbericht

In this research project, an optical measurement procedure was developed which allows to measure the deviations of rod objects from the ideal shape by the use of diffractive optical elements which serve as optical reference elements within our interferometric setup. The precision of this contactless and fast measurement procedure is in the sub-#mu#m-region. With a 200 MHz Pentium-I-processor, the time for the measurement, evaluation and visualization of the results is between 10 and 30 seconds, depending on the object. This is 1% of the time tactile profilometers need. The theory for the design of the diffractive reference elements and for the separation of the wavefront aberrations due to misadjustment from the relevant surface deviations has been developed. The measurement setup has been realized and optimized, the existing phase shifting software for the evaluation of interference fringes has been adapted to the specific geometry of the measurement setup and modified according to the above mentioned theory. (orig.)SIGLEAvailable from TIB Hannover: F99B504+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Optische Tomographie. Applikation spezieller OCT-Verfahren (Kohaerenzradar, Spektralradar) fuer die medizinische Diagnose in der Dermatologie Abschlussbericht

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F02B208 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

Untersuchung zur Nutzbarkeit der Kohaerenzeigenschaften von Licht fuer die optische Tomographie Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: DtF QN1(56,36) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Optische 3D-Sensoren mit grossem Messbereich und hoher Genauigkeit Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F97B2022+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Mikrooptiken und mikrooptische Komponenten fuer Hochleistungsdiodenlaser. Interferentielles Messverfahren fuer hochaperturige Mikrooptik unter Einschluss von Zylinderoptik Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F03B983 / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung und Forschung, Berlin (Germany)DEGerman

Entwurf optischer Mikrosysteme Wissenschaftliches Vorprojekt 'Anwenderfreundliche Systemintegrationstechniken fuer optische Mikrosysteme' (ASOM). Gemeinsamer Abschlussbericht

Available from TIB Hannover: F99B110+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

Untersuchungen zum digitalen optischen Prozessor 2. Zwischenbericht

TIB Hannover: FR 3821(Zwi2) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman